光学機器測定、テストチャート、薄膜パターニングのソリューションを提供するパール光学工業

 
 

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製造・検査設備

  1. クリーンルーム(クラス1000[アメリカ連邦規格]、クラス6[ISO規格])
  2. 各種成膜装置(スパッタ、蒸着、イオンプレーティング、CVD)
  3. ドライエッチング装置
  4. アッシャー
  5. 大型スピンナー(φ12インチ対応)
  6. スピンナー(φ6インチ)
  7. 真空密着アライナー(条件により最少線幅1μm可能)
  8. 両面マスクアライナー
  9. レーザー描画装置
  10. 電子(EB)描画装置
  11. UVオゾン洗浄装置
  12. 自動現像機
  13. 光学顕微鏡
  14. SEM
  15. TEM 他

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