製造・検査設備
- クリーンルーム（クラス1000[アメリカ連邦規格]、クラス6[ISO規格]）
- 各種成膜装置（スパッタ、蒸着、イオンプレーティング、CVD）
- ドライエッチング装置
- アッシャー
- 大型スピンナー（φ12インチ対応）
- スピンナー（φ6インチ）
- ディップコーター
- 電着レジスト塗布装置
- 真空密着アライナー（条件により最少線幅1μm可能）
- 密着アライナー（最大露光エリアφ12インチ）
- 両面マスクアライナー
- レーザー描画装置
- 電子（EB）描画装置
- UVオゾン洗浄装置
- 自動現像機
- 光学顕微鏡
- SEM
- TEM 他