製造・検査設備
- クリーンルーム(クラス1000[アメリカ連邦規格]、クラス6[ISO規格])
- 各種成膜装置(スパッタ、蒸着、イオンプレーティング、CVD)
- ドライエッチング装置
- アッシャー
- 大型スピンナー(φ12インチ対応)
- スピンナー(φ6インチ)
- 真空密着アライナー(条件により最少線幅1μm可能)
- 両面マスクアライナー
- レーザー描画装置
- 電子(EB)描画装置
- UVオゾン洗浄装置
- 自動現像機
- 光学顕微鏡
- SEM
- TEM 他
光学機器測定、テストチャート、薄膜パターニングのソリューションを提供するパール光学工業