膜上と膜下とは
透過型のテストチャートやパターニングには
「膜上」と「膜下」という用語があります。
パターンや文字を設計上の「正」の向きにしたとき、
フィルムやガラス・シリコン基板の表裏どちら側にパターンが
あるかというものです。
どちらも実際には基板を下にして、基板の上にパターンを
描画するので、文字やパターンが「正」か「逆」かになります。
ただし用途に応じて意図的に逆文字にしていたり、パターンだけ
だと一見して逆かどうかわからないものもあります。
その為、用途によって「膜上・膜下」と使い分けています。
文章だけだとわかりにくい概念でもありますのでイラストにして
みました。
